【ZiDongHua之金融滋東化收錄關(guān)鍵詞：中科創(chuàng)星 集成電路 半導(dǎo)體】
 
　　中科創(chuàng)星天使輪項目「埃米儀器」完成數(shù)千萬元Pre-A輪融資
 
　　近日，南京埃米儀器科技有限公司（下簡稱：埃米儀器）完成數(shù)千萬元Pre-A輪融資，博將資本領(lǐng)投。本輪融資將用于進(jìn)一步提升先進(jìn)半導(dǎo)體制程用的高精密量測設(shè)備的國產(chǎn)替代能力，豐富產(chǎn)品種類，加大市場開拓力度。
 
　　「埃米儀器」成立于2022年，成立以來一直致力于國內(nèi)精密3D量測設(shè)備的國產(chǎn)化，攻克核心技術(shù)。產(chǎn)品主要應(yīng)用于芯片制程中的微結(jié)構(gòu)量測和缺陷檢測，解決相關(guān)領(lǐng)域的技術(shù)難題。公司的產(chǎn)品和技術(shù)已獲得國內(nèi)領(lǐng)先芯片制造企業(yè)的認(rèn)可，對推動國內(nèi)先進(jìn)工藝的發(fā)展，提高芯片制造良率，縮短制程研發(fā)周期具有重要意義。
 
 
　　在線工業(yè)級原子力顯微鏡量測設(shè)備APEX-X1（全自動機臺）
 
　　量測設(shè)備是位列刻蝕、薄膜沉積、光刻后第四大市場的半導(dǎo)體設(shè)備，規(guī)模占半導(dǎo)體設(shè)備市場份額的15%左右。量測設(shè)備能在生產(chǎn)中監(jiān)測、識別、定位、分析工藝缺陷，對晶圓廠及時發(fā)現(xiàn)問題、改善工藝、提高良率，起到至關(guān)重要的作用。隨著集成電路繼續(xù)多層化、復(fù)雜化，量測設(shè)備的重要性日趨凸顯。然而，中國半導(dǎo)體量檢測設(shè)備市場被國際廠商高度壟斷，是半導(dǎo)體設(shè)備中除光刻機外國產(chǎn)化率最低的領(lǐng)域。
 
　　原子力顯微鏡（AFM）是目前精度最高的量測設(shè)備之一（原子級，約為一根頭發(fā)絲的60萬分之一），也是目前唯一能集檢測和修復(fù)為一體的技術(shù)手段?？梢詰?yīng)用于局部粗糙度量測、高深寬比三維結(jié)構(gòu)量測、鍵合三維結(jié)構(gòu)、光罩修復(fù)、光刻和刻蝕關(guān)鍵尺寸量測等方向。隨著集成電路制程繼續(xù)朝高端推進(jìn)，AFM在先進(jìn)制程中正在成為主力量測設(shè)備，國際巨頭（ASML等）已開始進(jìn)行布局。
 
　　AFM主要由掃描隧道顯微鏡(STM)發(fā)展而來，AFM通過一個微小的針尖與樣品表面相互作用，以實現(xiàn)高分辨率的表面成像。針尖與樣品之間的相互作用力可以是吸引力或斥力。根據(jù)針尖與樣品表面之間的距離和作用力的性質(zhì)，AFM主要有三種成像模式:接觸模式、非接觸模式和輕敲模式。
 
　　接觸模式:針尖與樣品表面距離較小，利用原子間的斥力。這種模式可以獲得高解析度圖像，但可能導(dǎo)致樣品變形和針尖受損。接觸模式不適合于表面柔軟的材料。
 
　　非接觸模式:針尖距離樣品5-20納米，利用原子間的吸引力。這種模式不損傷樣品表面可測試表面柔軟樣品，但分辨率較低，有誤判現(xiàn)象。
 
　　輕敲模式:針尖在掃描過程中周期性地接觸和離開樣品表面，以減少表面損傷和提高成像分辨率。
 
　　「埃米儀器」已推出多款量測設(shè)備，并持續(xù)推出新型設(shè)備。其在線工業(yè)級原子力顯微鏡已完成某芯片頭部企業(yè)的產(chǎn)品正式交付。
 
　　技術(shù)方面，「埃米儀器」通過申請專利構(gòu)筑技術(shù)壁壘：目前公司已得到專利授權(quán)20余項，相關(guān)專利覆蓋原子力顯微鏡和光學(xué)量測設(shè)備，涉及光電器件、精密機械、定位系統(tǒng)、電氣設(shè)計等。
 
　　「埃米儀器」創(chuàng)始人楊見飛博士擁有多年先進(jìn)量測和封裝設(shè)備研發(fā)經(jīng)驗。公司擁有一支強大的研發(fā)團隊，目前已與南京大學(xué)、山東大學(xué)、南智光電研究院等國內(nèi)外科研院所、機構(gòu)建立密切合作關(guān)系。