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- MEMS機油壓力傳感器可靠性研究
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來源：網(wǎng)絡(luò)時間：2012-07-10關(guān)鍵詞：MEMS機油壓力傳感器信號漂移 引言 MEMS是在集成電路生產(chǎn)技術(shù)和專用的微機電加工方法的基礎(chǔ)上蓬勃發(fā)展起來的高新技術(shù)，用MEMS技術(shù)研制的壓力傳感器具有體積小、重量輕、響應(yīng)快、靈敏度高、易于批量生產(chǎn)
2012-07-10 15:43:03
