-
- 白皮書(shū) | TERPS助力半導(dǎo)體行業(yè)真空壓力測(cè)量
-
德魯克Druck推出的TERPS(Trench Etched Resonant Pressure Sensor)技術(shù)基于單晶硅諧振原理,通過(guò)MEMS工藝將諧振式壓力傳感器的小型化、批量化與高精度結(jié)合起來(lái)
2025-03-25 15:01:11