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- 采用微電子和微機(jī)械加工技術(shù)制造出來(lái)的新型傳感器
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【采用微電子和微機(jī)械加工技術(shù)制造出來(lái)的新型傳感器】與傳統(tǒng) 傳感器 相比,它具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產(chǎn)、易于集成和實(shí)現(xiàn)智能化的特點(diǎn)。同時(shí),在微米量級(jí)的特征尺寸使得它可以完成某些傳統(tǒng)機(jī)械傳感器所不能實(shí)現(xiàn)
2013-11-21 11:54:34