來源：網(wǎng)絡(luò) 2012-07-05 關(guān)鍵詞：歐姆龍 壓力傳感器 MEMS傳感器　　歐姆龍株式會社研發(fā)了一款新型“絕對壓力傳感器”(※1)，該傳感器能夠準確檢測出50cm高度范圍內(nèi)的氣壓變化。絕對壓力傳感器應(yīng)用了歐姆龍核心技術(shù)之一的MEMS技術(shù)，實現(xiàn)了世界頂級水平的高精度和低電流消耗，將于2013年1月開始發(fā)售?！　≡摻^對壓力傳感器，實現(xiàn)了CMOS回路與MEMS傳感器的工藝整合，實現(xiàn)了長3.8mm×寬3.8mm、厚0.92mm的小型封裝，更易于應(yīng)用在移動電話等小型設(shè)備中?！　∵m用于智能手機或運動計量器(※2)等機器的電池驅(qū)動部件，有利于延長電池的壽命。將該傳感器應(yīng)用于運動計量器上，可以測算出上下樓梯等存在高度差的運動形式數(shù)據(jù)，解決一直以來的難題。而應(yīng)用于汽車導航系統(tǒng)上，可以確保在立體停車場導航的精準度以及識別一般道路和高架路。另外，由于能測定感知房門開啟或窗戶破碎等情況下產(chǎn)生的氣壓變化，也可應(yīng)用于安保領(lǐng)域?！　〈送?，CMOS MEMS一體化晶片也可銷售，旨在滿足與其他傳感器安裝在同一主板上等需求?！　〗窈螅瑲W姆龍將憑借獨有的MEMS技術(shù)持續(xù)為社會做貢獻。　　本產(chǎn)品將于7月11日(周三)至7月15日(周五)在東京國際展覽中心舉辦的“第23屆微機械/MEMS展”上展出?！　∩唐吩斍檎埖顷懢W(wǎng)站了解(http://www.omron.co.jp/ecb/index.html)?！　?※1)絕對壓力傳感器，指以真空為0基準的壓力檢測傳感器?！　?※2)有別于普通的計步器，不僅可計量步數(shù)，也用于計量中強度、低強度運動量及生活中的運動量(使用于掃除機、搬運輕量物品、烹飪等)的測量儀器?！　　鎏攸c　　1.小型封裝：長3.8mm 寬3.8mm 高0.92mm?！　?.小型芯片：CMOS回路與MEMS傳感器一體化，長1.9 mm、寬1.9 mm、厚0.5mm?！　?.300～1100hPa的廣泛測量范圍　　4.相對壓力精度達到相當于約50cm高度差所造成的氣壓變化6pa。　　5.0.5~9.5uA的低電流消耗有利于延長電池壽命。(※3)　　6.內(nèi)含溫度傳感器，能夠輔助修正因傳感器周圍溫度變化所造成的氣壓變化。　　7.采用I2C輸出方式，可串聯(lián)通信。　　(※3)消耗電流依賴于測定條件及動作模式。　　■技術(shù)解說　　1.檢測原理　　本公司的MEMS絕對壓力傳感器采用了針對血壓計中壓力傳感器研發(fā)的壓敏電阻方式。壓敏電阻方式，是使用了通過加載在電阻元件上的力度變化所產(chǎn)生的電阻變化即壓電效應(yīng)，通過這一原理將壓力轉(zhuǎn)化為電流信號?！　〔⑶?，為了測定大氣壓力變化，絕對壓力傳感器采用MEMS接合技術(shù)，將傳感器芯片的內(nèi)部進行真空密封。因此，能夠感知與真空狀態(tài)相比較大氣壓力的數(shù)值，也就是絕對壓力值?！　?.技術(shù)特長　　該傳感器，將本公司長年研發(fā)的各種技術(shù)功能集中在一個芯片中，包括半導體回路設(shè)計技術(shù)、CMOS工藝技術(shù)、MEMS技術(shù)、壓力傳感器、模擬增幅回路、數(shù)字處理回路、不揮發(fā)性存儲等。因此，實現(xiàn)了芯片的小型化、高機能化、耐噪性能的提升?！　〈送?，該傳感器使用MEMS接合技術(shù)，可擴大傳感器芯片內(nèi)部的真空室容量，將傳感器的輸入動態(tài)范圍最大化。從而實現(xiàn)高精度。　　3.測定結(jié)果　　結(jié)果能夠達到50cm的判別?！　　?傳感器外觀