來源：網(wǎng)絡 2012-9-2 關鍵詞：工業(yè)自動化 壓力傳感器 傳感技術　　MEMS壓力傳感器是基于 MEMS(微機電)技術，建立在微米/納米基礎上，在單晶硅片上刻融制作惠斯登電橋組成的硅應變計，這樣制造的壓力傳感器具有輸出靈敏度高，性能穩(wěn)定，批量可靠性、重復性好等優(yōu)點。下面從傳感器的制作工藝、結構兩方面分析一下MEMS壓力傳感器綜合性能。　　先進的制作工藝　　經(jīng)500℃