【ZiDongHua 之“創(chuàng)新自化成”收錄關(guān)鍵詞： 精密光學(xué) 集成電路 創(chuàng)新成果】
 
　　喜報(bào) |我院項(xiàng)目進(jìn)入中國(guó)國(guó)際大學(xué)生創(chuàng)新大賽（2025）上海市金獎(jiǎng)排位賽
 
　　7月11-13日，以“我敢闖、我會(huì)創(chuàng)”為主題的中國(guó)國(guó)際大學(xué)生創(chuàng)新大賽（2025）上海賽區(qū)決賽在上海交通大學(xué)閔行校區(qū)舉行，共有來(lái)自上海各高校的400余個(gè)項(xiàng)目參賽。同濟(jì)大學(xué)共有41個(gè)項(xiàng)目（高教主賽道項(xiàng)目31個(gè)，紅旅賽道項(xiàng)目3個(gè)，產(chǎn)業(yè)賽道項(xiàng)目7個(gè)）入圍市賽決賽。經(jīng)過(guò)現(xiàn)場(chǎng)路演評(píng)審的激烈角逐，同濟(jì)大學(xué)物理科學(xué)與工程學(xué)院主賽道的“咫尺匠‘芯’”項(xiàng)目位列小組第一，獲上海市金獎(jiǎng)并進(jìn)入金獎(jiǎng)排位賽。
 
 
　　項(xiàng)目簡(jiǎn)介
 
　　01
 
　　項(xiàng)目名稱 
 
　　咫尺匠“芯”
 
　　——集成電路亞納米計(jì)量領(lǐng)軍者
 
　　02
 
　　項(xiàng)目介紹 
 
　　納米計(jì)量是集成電路微納檢測(cè)設(shè)備量值溯源，誤差控制與測(cè)量準(zhǔn)確性的核心支撐。同濟(jì)大學(xué)物理科學(xué)與工程學(xué)院“咫尺匠芯”團(tuán)隊(duì)通過(guò)揭示自然常數(shù)物化、量值傳遞的物理規(guī)律，確立了以“量值傳遞扁平化”為核心的納米計(jì)量創(chuàng)新思路。歷經(jīng)四年研發(fā)，團(tuán)隊(duì)利用皮米級(jí)平均間距準(zhǔn)確性原子光刻光柵成功研制了極小非線性誤差的“自溯源型光柵干涉儀”。該儀器可以有效克服對(duì)嚴(yán)苛環(huán)境控制及空氣折射率校準(zhǔn)的依賴，具有優(yōu)于亞納米級(jí)的位移測(cè)量精度，并兼顧極高抗環(huán)境干擾能力的核心優(yōu)勢(shì)。研究成果現(xiàn)已實(shí)現(xiàn)微型、集成化，有望為集成電路量測(cè)設(shè)備提供現(xiàn)場(chǎng)計(jì)量校準(zhǔn)方案。
 
　　03
 
　　項(xiàng)目團(tuán)隊(duì) 
 
　　團(tuán)隊(duì)成員：
 
　　朱宏宇、吳政穎、牟科明、寧宣景、范本軒、王競(jìng)晨
 
　　指導(dǎo)教師：
 
　　鄧曉  薛棟柏 魏振博
 
 
　　活動(dòng)總結(jié)
 
　　中國(guó)國(guó)際大學(xué)生創(chuàng)新大賽作為展示大學(xué)生創(chuàng)新成果、促進(jìn)創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)教育的重要平臺(tái)，一直受到同濟(jì)大學(xué)的高度重視。作為物理學(xué)院優(yōu)勢(shì)獲獎(jiǎng)項(xiàng)目，該項(xiàng)目展示了我院面向先導(dǎo)產(chǎn)業(yè)“卡脖子“領(lǐng)域的最新科研進(jìn)展。充分體現(xiàn)我院服務(wù)國(guó)家戰(zhàn)略、扎根大地培養(yǎng)創(chuàng)新人才的育人成果。未來(lái)，項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)將致力于進(jìn)一步完善和提升項(xiàng)目質(zhì)量，在各方面進(jìn)行精細(xì)打磨優(yōu)化，爭(zhēng)創(chuàng)佳績(jī)。