中國(guó)電科國(guó)產(chǎn)離子注入機(jī)入選“2023年度央企十大國(guó)之重器”
【ZiDongHua 之品牌自定位收錄關(guān)鍵詞:中國(guó)電科 離子注入機(jī) 大國(guó)重器 半導(dǎo)體 納米工藝 】
中國(guó)電科國(guó)產(chǎn)離子注入機(jī)入選“2023年度央企十大國(guó)之重器”
1月2日,“2023年度央企十大國(guó)之重器”評(píng)選結(jié)果揭曉,“中國(guó)電科實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)離子注入機(jī)28納米工藝全覆蓋”成功入選。
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中國(guó)電科實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)離子注入機(jī)28納米工藝全覆蓋
離子注入機(jī)是芯片制造中的關(guān)鍵裝備。在芯片制造過(guò)程中,需要摻入不同種類的元素按預(yù)定方式改變材料的電性能,這些元素以帶電離子的形式被加速至預(yù)定能量并注入至特定半導(dǎo)體材料中,離子注入機(jī)就是執(zhí)行這一摻雜工藝的芯片制造設(shè)備。當(dāng)前,28納米是芯片應(yīng)用領(lǐng)域中覆蓋面最廣的成熟制程。中國(guó)電科旗下中電科電子裝備集團(tuán)有限公司連續(xù)突破光路、控制、軟件等關(guān)鍵模塊的核心技術(shù),形成中束流、大束流、高能及第三代半導(dǎo)體等全系列離子注入機(jī)產(chǎn)品格局,實(shí)現(xiàn)了28納米工藝制程全覆蓋,切實(shí)保障國(guó)產(chǎn)芯片生產(chǎn)制造。

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以國(guó)產(chǎn)離子注入機(jī)為代表的“國(guó)之重器”
凝聚了中國(guó)電科日復(fù)一日的銳意進(jìn)取、攻堅(jiān)克難
2024年中國(guó)電科將繼續(xù)
提升自主創(chuàng)新能力
不斷開(kāi)辟發(fā)展新領(lǐng)域新賽道
不斷塑造發(fā)展新動(dòng)能新優(yōu)勢(shì)
為持續(xù)推動(dòng)經(jīng)濟(jì)實(shí)現(xiàn)質(zhì)的有效提升和量的合理增長(zhǎng)
以中國(guó)式現(xiàn)代化全面推進(jìn)強(qiáng)國(guó)建設(shè)、
民族復(fù)興偉業(yè)作出新貢獻(xiàn)
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