【ZiDongHua 之“會(huì)展賽培壇”收錄關(guān)鍵詞：廣東微納院 智能制造 集成電路 傳感器 】
　　
　　秀出“硬核”實(shí)力！廣東微納院深圳光博會(huì)之旅收獲滿滿
　　
　　2025年9月10日至12日，廣東中科半導(dǎo)體微納制造技術(shù)研究院（以下簡(jiǎn)稱“研究院”）精彩亮相第26屆中國(guó)國(guó)際光電博覽會(huì)（CIOE），攜半導(dǎo)體微納加工平臺(tái)、半導(dǎo)體材料外延與表征平臺(tái)以及佛山半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園整體亮相，與數(shù)千家科研院所、高校及產(chǎn)業(yè)鏈重點(diǎn)企業(yè)共聚深圳，共探光電技術(shù)前沿與發(fā)展機(jī)遇。
　　
　　研究院是立足于佛山、服務(wù)粵港澳大灣區(qū)的省級(jí)高水平創(chuàng)新研究院，聚焦MEMS智能傳感、新型顯示與光電探測(cè)、功率電子與5G通信等領(lǐng)域，致力于打造集研發(fā)中試、企業(yè)孵化、人才培養(yǎng)于一體的協(xié)同創(chuàng)新平臺(tái)。
　　
　　展示核心工藝實(shí)力平臺(tái)服務(wù)賦能產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新展會(huì)期間，研究院集中展示了半導(dǎo)體微納加工平臺(tái)與半導(dǎo)體材料外延與表征平臺(tái)的核心技術(shù)能力。微納加工平臺(tái)重點(diǎn)推介了DUV光刻工藝、深硅刻蝕工藝等芯片制造全流程特色工藝，并現(xiàn)場(chǎng)展出磁性傳感器、微流道芯片等多件晶圓樣品。材料外延與表征平臺(tái)則系統(tǒng)展示了平臺(tái)設(shè)備配置與外延工藝實(shí)力，展出包括藍(lán)寶石基綠光LED外延片、硅基HEMT功率器件外延片、藍(lán)寶石基UVA外延片等多個(gè)代表性外延片，充分體現(xiàn)了研究院在化合物半導(dǎo)體材料領(lǐng)域的核心技術(shù)與服務(wù)能力。
 
　　
　　微納加工晶圓及材料外延片。
　　
　　現(xiàn)場(chǎng)，多場(chǎng)論壇同期舉行。在2025全球精密光學(xué)智能制造論壇——超精微/納米光學(xué)制造技術(shù)論壇，研究院代表作《MicroLED制造技術(shù)發(fā)展概述：8吋共享平臺(tái)，賦能新型顯示產(chǎn)業(yè)發(fā)展》主題報(bào)告，聚焦“從研發(fā)攻堅(jiān)到中試量產(chǎn)的開(kāi)放平臺(tái)”建設(shè)，闡述如何通過(guò)產(chǎn)學(xué)研協(xié)同創(chuàng)新，整合設(shè)備、工藝與材料資源，實(shí)現(xiàn)MicroLED技術(shù)工程化落地。平臺(tái)將開(kāi)放全流程工藝模塊，為AR/VR、車載顯示等領(lǐng)域提供低成本、高效率的中試代工服務(wù)，加速技術(shù)從實(shí)驗(yàn)室到量產(chǎn)的轉(zhuǎn)化，助力智能顯示產(chǎn)業(yè)升級(jí)。
　　
　　打造一體化產(chǎn)業(yè)生態(tài)園區(qū)配套加速企業(yè)成長(zhǎng)
　　
　　以芯片公共平臺(tái)為技術(shù)支撐，佛山半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園為企業(yè)提供從創(chuàng)新研發(fā)、小試中試到產(chǎn)業(yè)化的全鏈條發(fā)展空間。園區(qū)擁有超凈廠房3.2萬(wàn)平方米，達(dá)千級(jí)潔凈標(biāo)準(zhǔn)，配備完善的廠務(wù)設(shè)施、專業(yè)運(yùn)維團(tuán)隊(duì)與相關(guān)資質(zhì)，并集成辦公孵化功能，打造“上下樓即上下游”的一站式產(chǎn)業(yè)生態(tài)，提升企業(yè)協(xié)同與創(chuàng)新效率。
　　
　　研究院展臺(tái)獲得多方關(guān)注。
　　
　　展會(huì)期間，研究院累計(jì)與逾30家企業(yè)及院所進(jìn)行深度對(duì)接，覆蓋光學(xué)器件、智能傳感器、第三代半導(dǎo)體等關(guān)鍵領(lǐng)域，并為超過(guò)100家客戶提供工藝合作、平臺(tái)服務(wù)、場(chǎng)地入駐等專業(yè)咨詢，力爭(zhēng)取得實(shí)質(zhì)性進(jìn)展。
　　
　　未來(lái)，研究院將繼續(xù)夯實(shí)技術(shù)根基，推動(dòng)工藝創(chuàng)新與服務(wù)升級(jí)，進(jìn)一步推動(dòng)佛山半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的高質(zhì)量集聚，提升區(qū)域影響力，助力廣東打造集成電路第三極。