【國(guó)內(nèi)首個(gè)“IC設(shè)備關(guān)鍵零部件集成制造技術(shù)與加工平臺(tái)”順利通過(guò)驗(yàn)收】長(zhǎng)期以來(lái)我國(guó)IC設(shè)備生產(chǎn)企業(yè)普遍面臨關(guān)鍵零部件采購(gòu)成本高等問(wèn)題。沈陽(yáng)IC裝備產(chǎn)業(yè)園聯(lián)合沈陽(yáng)自動(dòng)化所等單位，圍繞IC設(shè)備金屬類(lèi)零部件高效精密加工等8個(gè)課題展開(kāi)技術(shù)攻關(guān)與平臺(tái)建設(shè)，突破了一系列技術(shù)難題。