來源：網絡 2012-07-15 關鍵詞：溫度傳感器 MAX6654 工業(yè)系統(tǒng) 工業(yè)自動化　　隨著信息處理技術的不斷提高，壓力傳感器芯片的研制與生產工藝的穩(wěn)定性和可靠性也發(fā)生了革新，這在一定程度上推動了其應用發(fā)展。那么，對于壓力傳感器芯片的知識，我們又了解多少呢 小編通過搜集整理資料，對有關壓力傳感器芯片的分類、原理、結構以及工藝流程等作了簡單的歸納總結。下面我們一起來看一下具體介紹吧?！　毫鞲衅餍酒诸悺　牟牧仙现v，壓力傳感器芯片可以分為：單晶硅的、多晶硅的、陶瓷的、水晶的、金屬的、聚酰亞胺的等等;從原理上講，壓力傳感器芯片可以分為：應變式、壓阻式、電容式、諧振式等(體重計上一般用的是應變片，應變片一般多為應變式或壓阻式)?！　毫鞲衅餍酒琒CA2095原理介紹　　壓力傳感器芯片SCA2095是應用于利用壓阻效應，采用全橋設計的傳感器(例如壓力傳感器、應力計、加速度計等)的信號調節(jié)電路集成的芯片?！　CA2095采用EEPROM進行校準、溫度補償，并具有傳感器輸出保護和診斷的功能。還能夠更好調節(jié)增益和傳感器電橋偏移，能修正靈敏度誤差?！　CA2095芯片的外部數字接口采用三線制，即串行時鐘SCLK、數據輸出DO、數據輸入DI。通過CPU的操作，設置零位偏移寄存器、溫度寄存器、零點溫度補償寄存器、輸出基準寄存器、增益溫度補償寄存器等。這些寄存器中的值通過D/A轉換器變成模擬量疊加在調理電路中，從而改善了傳感器特性?！　?center>
　　圖1　壓力傳感器芯片SCA2095原理框圖　　MEMS硅壓阻式壓力傳感器芯片結構　　MEMS硅壓阻式壓力傳感器芯片采用周邊固定的圓形的應力硅薄膜內壁，采用MEMS技術直接將四個高精密半導體應變片刻制在其表面應力最大處，組成惠斯頓測量電橋，作為力電變換測量電路的，將壓力這個物理量直接變換成電量，其測量精度能達0.01-0.03%FS。硅壓阻式壓力傳感器結構如圖所示，　　
　　圖2 硅壓阻式壓力傳感器芯片結構　　上下二層是玻璃體，中間是硅片，其應力硅薄膜上部有一真空腔，使之成為一個典型的絕壓壓力傳感器。為了便于TPMS接收器的識別，每個壓力傳感器都具有32位獨特的ID碼，它可產生4億個不重復的號碼。　　壓力傳感器芯片制作工藝流程　　壓力傳感器芯片制作工藝流程如下圖所示：　　
　　圖3 工藝流程示意圖　　壓力傳感器由具有壓阻效應的敏感元件構成測量電橋，當受外界壓力作用時，電橋失去平衡，產生輸出電壓?！　】偨Y　　本文簡單介紹了壓力傳感器芯片的分類、制作工藝流程等知識，并以壓力傳感器芯片SCA2095為例分析了其原理，同時就對于MEMS硅壓阻式壓力傳感器芯片結構的知識也做了相應的概括。