【ZiDongHua之“創(chuàng)新自化成”收錄關(guān)鍵詞：新質(zhì)生產(chǎn)力 半導(dǎo)體 激光裝備產(chǎn)業(yè)】
 
　　新質(zhì)生產(chǎn)力在湖北|“湖北造”半導(dǎo)體激光加工裝備迎來新突破
 
　　近日，由湖北企業(yè)和高校聯(lián)合研發(fā)的全自動(dòng)晶圓激光退火設(shè)備在實(shí)驗(yàn)室完成中試，標(biāo)志著“湖北造”的半導(dǎo)體激光加工系列裝備實(shí)現(xiàn)了核心技術(shù)的自主可控。
 
 
　　這兩天，由華工科技自主研發(fā)的全自動(dòng)晶圓激光退火設(shè)備，在九峰山實(shí)驗(yàn)室里完成中試，即將發(fā)往客戶手中，進(jìn)行生產(chǎn)端的批量驗(yàn)證。
 
　　華工科技半導(dǎo)體面板事業(yè)部市場總監(jiān)肖沖：芯片的加工過程中，退火是必不可少的一段工藝，我們把激光束進(jìn)行整形，通過一個(gè)光點(diǎn)一個(gè)光點(diǎn)，去打在晶圓的表面，對某一個(gè)位置進(jìn)行加熱，最終形成的就是正面的電路，跟背面的這種硅形成一種鎳硅合金層，形成電極的導(dǎo)通。
 
　　在半導(dǎo)體領(lǐng)域，這樣一片晶圓需要用激光進(jìn)行多次精準(zhǔn)退火，形成電極之間的接觸點(diǎn)，才能滿足后續(xù)導(dǎo)電等工藝需求，但這樣的關(guān)鍵技術(shù)卻長期被國外所壟斷。激光退火工藝涉及到光學(xué)、運(yùn)動(dòng)控制等諸多技術(shù)，靠企業(yè)單打獨(dú)斗很難短時(shí)間取得突破。2022年開始，華工科技聯(lián)合華中科技大學(xué)等單位，開始了一場產(chǎn)業(yè)鏈上的協(xié)同創(chuàng)新。
 
　　華中科技大學(xué)機(jī)械科學(xué)與工程學(xué)院副教授、博士生導(dǎo)師榮佑民：這里面它是一個(gè)系統(tǒng)性的工程，高校有相關(guān)基礎(chǔ)，根據(jù)我們各家的這種優(yōu)勢，聯(lián)合開展了研發(fā)。
 
　　企業(yè)和高校強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)合，給激光退火設(shè)備的研發(fā)按下了加速鍵。這臺樣機(jī)的開發(fā)周期，比原計(jì)劃時(shí)間減少了一半。而根據(jù)中試驗(yàn)證效果來看，這臺設(shè)備的加工效率比市面現(xiàn)有產(chǎn)品提升了30%。此前，在半導(dǎo)體晶圓激光加工領(lǐng)域，華工科技已自主打造出了切割、檢測和封裝等裝備，退火設(shè)備的中試成功，標(biāo)志著湖北“半導(dǎo)體”激光加工系列裝備，實(shí)現(xiàn)了全流程關(guān)鍵技術(shù)自主可控。
 
　　華工科技半導(dǎo)體面板事業(yè)部市場總監(jiān)肖沖：針對整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈上的客戶，可以去給他提供整體的解決方案，最核心的就是這里面很多的單元技術(shù)，我們可以自主可控。
 
　　去年底，由華工科技牽頭，華中科技大學(xué)、九峰實(shí)驗(yàn)室等9家單位共同參與的半導(dǎo)體激光裝備產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室正式成立，湖北激光高端裝備生態(tài)圈里，強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)合、加速創(chuàng)新的腳步正在加速邁進(jìn)。
 
　　來源：長江云新聞