【ZiDongHua 之“半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈”收錄關(guān)鍵詞： 東方晶源 集成電路 半導(dǎo)體 】

　　

　　東方晶源亮相CSEAC 2025：攜AI驅(qū)動(dòng)電子束技術(shù)方案，共探半導(dǎo)體量檢測(cè)國產(chǎn)化新路徑

　　

　　CSEAC 2025

　　

　　9月4日，以“做強(qiáng)中國芯，擁抱芯世界”為主題的第十三屆半導(dǎo)體設(shè)備與核心部件及材料展（CSEAC 2025）在無錫開幕。展會(huì)聚焦半導(dǎo)體關(guān)鍵設(shè)備、核心部件、關(guān)鍵材料等領(lǐng)域最新成果，吸引全球22個(gè)國家和地區(qū)的專家學(xué)者、企業(yè)領(lǐng)袖參與。集成電路制造良率管理領(lǐng)軍企業(yè)東方晶源全程參與，通過兩場(chǎng)高規(guī)格論壇演講與特色展臺(tái)，全方位展示最新技術(shù)成果，與行業(yè)同仁共話發(fā)展。

　　

　　

　　董事長論壇

　　

　　俞宗強(qiáng)博士提出AI驅(qū)動(dòng)“換道超車”方法論

　　

　　作為展會(huì)品牌論壇，董事長論壇率先開啟“巔峰對(duì)話”。東方晶源董事長俞宗強(qiáng)博士發(fā)表題為“Computational Metrology/Inspection for Better COO”的演講，系統(tǒng)介紹公司電子束量檢測(cè)設(shè)備生態(tài)建設(shè)成果，并提出AI計(jì)算引領(lǐng)的設(shè)備發(fā)展新路徑。

 

　　

　　俞宗強(qiáng)博士指出，通過AI算法深度挖掘海量歷史與實(shí)時(shí)檢測(cè)數(shù)據(jù)，可精準(zhǔn)識(shí)別影響芯片性能的關(guān)鍵缺陷與參數(shù)偏差，實(shí)現(xiàn)“量得少卻同樣解決問題”的高效模式，為半導(dǎo)體量檢測(cè)設(shè)備從追趕到“換道超車”提供可能。在圓桌對(duì)話環(huán)節(jié)，他還與半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域領(lǐng)軍企業(yè)高管圍繞市場(chǎng)拓展、技術(shù)創(chuàng)新、供應(yīng)鏈合作等議題深入探討，凝聚產(chǎn)業(yè)發(fā)展共識(shí)。

　　

　　主論壇

　　

　　雒曉軍博士解析技術(shù)趨勢(shì)

　　

　　披露電子束量檢測(cè)設(shè)備國產(chǎn)化進(jìn)展

　　

　　在主論壇環(huán)節(jié)，東方晶源高級(jí)副總裁雒曉軍博士圍繞半導(dǎo)體量檢測(cè)設(shè)備的重要性、電子束量檢測(cè)技術(shù)發(fā)展趨勢(shì)、國產(chǎn)化發(fā)展現(xiàn)狀以及國產(chǎn)化過程中的挑戰(zhàn)四大核心方面展開分享。作為擁有20年半導(dǎo)體量測(cè)檢測(cè)經(jīng)驗(yàn)的資深人士，雒曉軍博士的演講極具洞見，他認(rèn)為電子束量檢測(cè)機(jī)臺(tái)未來將會(huì)向冷場(chǎng)發(fā)射、高電壓 （>45KeV）、多電子束發(fā)展。隨后他又從物理、技術(shù)、應(yīng)用方面進(jìn)行了分析，給出了判斷理由和依據(jù)。

　　

　　在國產(chǎn)化進(jìn)展上，雒曉軍博士還披露了諸多關(guān)鍵信息：在6/8英寸硅制程及第三代半導(dǎo)體，關(guān)鍵尺寸量測(cè)設(shè)備（CD-SEM）已經(jīng)實(shí)現(xiàn)完全國產(chǎn)化。12英寸方面，東方晶源最新機(jī)臺(tái)SEpA®-c505則搭載全新高速傳片平臺(tái)，可滿足更高產(chǎn)能需求。設(shè)備集成全新自研的電子光學(xué)系統(tǒng)（EOS），成像分辨率和量測(cè)重復(fù)精度實(shí)現(xiàn)雙重突破，技術(shù)參數(shù)比肩國際主流產(chǎn)品，目前正在客戶端進(jìn)行驗(yàn)證。有望在今年底或明年初實(shí)現(xiàn)在28納米制程的完全國產(chǎn)替代。電子束缺陷檢測(cè)設(shè)備（EBI）方面，東方晶源最新產(chǎn)品SEpA®-i635取得了非常大的進(jìn)展，大電流預(yù)充電功能的開發(fā)解決了3D結(jié)構(gòu)漏電和斷路缺陷檢測(cè)問題，抗干擾性能的優(yōu)化大大提高了小尺寸物理缺陷的檢出率, 在28納米成熟制程及3D NAND實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化替代。電子束缺陷復(fù)檢設(shè)備（DR-SEM）方面，東方晶源最新產(chǎn)品SEpA®-r655，實(shí)現(xiàn)1.4納米分辨率，5通道探測(cè)器同時(shí)成像，可對(duì)標(biāo)Fab主流機(jī)臺(tái)。

　　

　　展臺(tái)人氣爆棚

　　

　　三天吸引多領(lǐng)域關(guān)注，趣味互動(dòng)傳遞品牌理念

　　

　　本屆CSEAC展為期3天，東方晶源展臺(tái)持續(xù)保持極高的人氣，不僅吸引半導(dǎo)體企業(yè)、高校、投資機(jī)構(gòu)等專業(yè)群體駐足交流，還引發(fā)自媒體博主現(xiàn)場(chǎng)直播關(guān)注。工作人員圍繞新產(chǎn)品、新技術(shù)進(jìn)行細(xì)致講解，與來訪嘉賓探討潛在合作機(jī)遇。

　　

　　此外，展臺(tái)定時(shí)開展的“刮刮樂”互動(dòng)活動(dòng)廣受好評(píng)。定制化刮刮樂卡片融入東方晶源HPO理念及產(chǎn)品信息，讓觀眾在趣味體驗(yàn)中輕松了解企業(yè)技術(shù)優(yōu)勢(shì)，使展臺(tái)成為兼具產(chǎn)品展示與行業(yè)交流功能的核心平臺(tái)，收獲超高行業(yè)關(guān)注度。

　　

　　總結(jié)

　　

　　半導(dǎo)體設(shè)備對(duì)整個(gè)半導(dǎo)體行業(yè)起著重要支撐作用，是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈上市場(chǎng)空間最廣闊、戰(zhàn)略價(jià)值最重要的一環(huán)，也是東方晶源長期以來進(jìn)行重點(diǎn)攻關(guān)的方向之一。正如俞宗強(qiáng)博士在論壇中所言：提升電子束設(shè)備的檢測(cè)效率，致力于為客戶提升良率、降低成本，東方晶源為此在軟硬件聯(lián)動(dòng)、定制化GPU+CPU的超算平臺(tái)以及基于對(duì)光刻等核心工藝步驟的深刻理解和精準(zhǔn)仿真等方面準(zhǔn)備了十二年，未來還將繼續(xù)深耕，不遺余力推動(dòng)產(chǎn)業(yè)發(fā)展和進(jìn)步。